進口激光干涉儀選擇API XD測量方法

主要特性：

¾一次安裝能測量6項精度指標包括線性定位誤差、 XX及YY兩個方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動角
¾ 把反射鏡換成五棱鏡既可測量兩軸間垂直度
¾ 兩點調光線. 無需三腳架. 測量調整簡單快速
¾ 傳統激光干涉儀測量20項精度指標(三軸)，約需3天的時間； API干涉儀只約需半天!
¾ 測量直線度/小角度/垂直度/轉臺時, 不怕斷光, 可當自準直儀用, 用于機床裝配調試
 

良好的結構設計
API公司采用了穩定鋼球與絕熱層的雙重定位設計（如下圖），將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發熱而引起的熱膨脹方向沿穩定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測量準確性。

API XD干涉儀線性定位誤差的測量方法:
¾ 一次安裝也可同時測量其它五個參數;
¾ 可利用電腦中的直線度實時顯示,
數字化去除余弦差，測量準確;
¾ 兩點調光，對光迅速

直線度測量— API XD的方法

應用良好的PSD技術：光電位置敏感檢測器。它可將光敏面上的光點位置轉化為電信號)

¾ 不怕斷光，可用于導軌的安裝調試(類似于自準直儀)
¾ 對直線度進行1:1的測量
¾ 可一次性安裝, 與線性誤差一起測量, 方便, 快速

垂直度測量— API XD的方法

¾ API XD激光干涉儀是通過PSD技術1:1進行直線度測量的，所以API干涉儀測兩軸垂直度時只需一個五角棱鏡既可，無需其他鏡組. 裝/調非常方便快速
¾ 在測兩軸的垂直度的同時，兩軸各自的線性定位誤差、直線度，偏擺角、俯仰角都可一次測出，大大節省了測量所占用機床的時間，也可避免人為差錯。

偏擺角/俯仰角測量 — API XD的方法

¾ 良好的PSD技術來測量小角度: 當入射光經分光鏡射到凸透鏡上后，如果軸無角度變化，則光線經透鏡聚在焦點上；如果軸有角度變化，則光線會在焦平面上的PSD光靶上得到兩個方向的坐標值，從而與焦距比較得出角度值。
¾ 測量角度過程中不怕斷光, 可用于導軌的安裝調試
¾ 不受滾動角的影響，調整光路容易、:
 

API XD 檢測導軌平行度(示意)：